中国科学院西安光学精密机械研究所

专利名称:

Sagnac型干涉仪组件的膜层面形离子束抛光装置及其装调方法

英文名称:

专利号:

CN111531410A

专利类别:

专利证书号:

申请号:

CN202010240879.2

第一发明人:

中国科学院西安光学精密机械研究所

申请日期:

2020-03-31

专利授权日期:

2020-08-14

国外申请日期:

国外申请方式:

缴费情况:

实施情况:

审中

专利摘要:

其它备注:

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