中国科学院西安光学精密机械研究所

专利名称:

一种全光固体超快探测芯片的腐蚀方法

英文名称:

专利号:

CN109545681A

专利类别:

专利证书号:

申请号:

CN201811286547.7

第一发明人:

中国科学院西安光学精密机械研究所

申请日期:

2018-10-31

专利授权日期:

2019-3-29

国外申请日期:

国外申请方式:

缴费情况:

实施情况:

审查中

专利摘要:

其它备注:

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